[发明专利]含有二溴甲烷的电光源气的配制方法

摘要

本发明涉及特种气体的配制方法，具体公开了一种含有二溴甲烷的电光源气的配制方法，采用重量法配制，室温定量量取二溴甲烷液样，加热至70～80℃，保温8～12min，使液样全部汽化后，再用平衡气变压吹扫二溴甲烷气体至产品钢瓶中，最后充装平衡气至产品压力P，混匀，经计算得到产品实际浓度，完成配制，所用平衡气为氙气或氪气。本发明方法能够解决二溴甲烷容易粘附于器壁造成电光源气浓度不达标的问题，显著提高含有二溴甲烷的电光源气产品的合格率和产品浓度的均一性。

主权项

含有二溴甲烷的电光源气的配制方法，其特征在于：采用重量法配制，室温定量量取二溴甲烷液样V1，加入与钢瓶连接的配气系统中，加热二溴甲烷液样使在配气系统中汽化，加热温度70～80℃，保温8～12min，再打开钢瓶阀门，用平衡气吹扫配气系统中二溴甲烷气体进入钢瓶，最后将钢瓶充装所述平衡气至目的产品电光源气的压力P，混匀；所述平衡气为氙气或氪气；其中二溴甲烷液样的称取体积量V1(ml)，按下式计算得到，V1＝P×V×Ci×R，P为目的产品电光源气的压力，单位为兆帕(MPa)；V为所述钢瓶容积，单位为升(L)；Ci为目的产品电光源气二溴甲烷的浓度，单位为百万分之体积浓度(ppm)；R为校正系数，为3.33×10‑5。