[发明专利]基于锥形金属-电介质多层光栅结构的偏振无关宽带吸收器在审
| 申请号： | 201610049732.9 | 申请日： | 2016-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN105652354A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 吴俊;周常河;李民康;项长铖 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/42 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯;张宁展 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于红外波段的基于锥形金属-电介质多层光栅结构的偏振无关宽带吸收器，包括自上而下的金属-电介质多层光栅、金属薄膜反射层和电介质衬底；所述的金属-电介质多层光栅的周期d为1640～1645纳米，该金属-电介质多层光栅由N对金属光栅和电介质光栅叠加组成，且占空比由上而下逐渐增加。当TE和TM偏振光垂直入射时，其在红外波段一个较宽的波带范围的入射光将被吸收，偏振无关吸收率超过90％的带宽大于2微米，并且在很大的入射角范围内可以维持很高的偏振无关吸收，具有很大的角度无关性，可以广泛用于热光伏器件和红外隐身等领域。结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 锥形 金属 电介质 多层 光栅 结构 偏振 无关 宽带 吸收 | ||
【主权项】：
一种用于红外波段的基于锥形金属‑电介质多层光栅结构的偏振无关宽带吸收器，其特征在于，包括自上而下的金属‑电介质多层光栅、金属薄膜反射层和电介质衬底；所述的金属‑电介质多层光栅的周期d为1640～1645纳米，该金属‑电介质多层光栅由N对金属光栅和电介质光栅叠加组成，且占空比由上而下逐渐增加，金属光栅和电介质光栅的厚度分别为5.5～6.5纳米和257～259纳米，顶部光栅和底部光栅的宽度分别为100～105纳米和1595～1600纳米，金属薄膜反射层的厚度大于光在红外波段的趋肤深度。
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