[发明专利]一种非晶态材料制备方法

摘要

本发明涉及一种非晶态材料制备方法，即根据非晶态材料所需的各成分材料的分布规则，周期性的依次将各成分材料沉积在基片上以制成超晶格结构样品，然后对超晶格结构样品进行低温热处理，进而制成非晶态材料。在每层成分材料沉积前，分别调节对应沉积源的工作参数、调节对应沉积源与基片之间的相对位置。各成分材料在基片上的单层沉积厚度分别对应远小于各成分材料的扩散-结晶临界厚度。该非晶态材料制备方法能够实现不同成分材料间原子状态下的均匀扩散，且制备过程中要求的材料沉积方法简单、热处理温度要求低。相应的在较短时间内，较低温度下即能完成非晶态材料制备，降低了非晶态材料的制备成本，提高了制备效率。

主权项

一种非晶态材料制备方法，其特征在于：根据非晶态材料所需的各成分材料的分布规则，周期性的依次将各成分材料沉积在基片上以制成超晶格结构样品，然后对所述超晶格结构样品进行低温热处理，进而制成非晶态材料；其中，低温热处理的温度范围为各成分材料的扩散温度和结晶温度之间范围的交集区间；在每层成分材料沉积前，分别调节对应沉积源的工作参数、调节对应沉积源与基片之间的相对位置；各成分材料在基片上的单层沉积厚度分别对应小于各成分材料的扩散‑结晶临界厚度。