[发明专利]基板移载装置有效
| 申请号： | 201610052086.1 | 申请日： | 2016-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN105600447B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 夏良烘;徐向阳;陈杰 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板移载装置，其包括承载板(1)、及设于所述承载板(1)的四周边缘的数个夹钳(2)；所述承载板(1)用于放置基板；所述夹钳(2)用于固定基板；使用所述夹钳(2)固定基板时，所述夹钳(2)末端的夹持端部(223)与承载板(1)共同将基板夹住；所述承载板(1)上对应所述夹钳(2)在夹紧状态下的夹持端部(223)的下方设有凹槽(11)；使得所述承载板上未放置基板时，所述夹钳在夹紧状态下的夹持端部伸入所述凹槽中，可避免夹钳与承载板之间的摩擦，从而减少因摩擦而产生的金属异物，提升产品品质。 | ||
| 搜索关键词： | 承载板 夹钳 夹持端部 基板移载装置 固定基板 夹紧状态 基板 摩擦 产品品质 金属异物 四周边缘 基板夹 伸入 | ||
【主权项】：
1.一种基板移载装置，其特征在于，包括承载板(1)、及设于所述承载板(1)的四周边缘的数个夹钳(2)；所述承载板(1)用于放置基板；所述夹钳(2)用于固定基板；使用所述夹钳(2)固定基板时，所述夹钳(2)末端的夹持端部(223)与承载板(1)共同将基板夹住；所述承载板(1)上对应所述夹钳(2)在夹紧状态下的夹持端部(223)的下方设有凹槽(11)，从而使得所述承载板(1)上未放置基板时，所述夹钳(2)的夹持端部(223)与承载板(1)不接触而不产生摩擦；所述夹钳(2)包括两端固定于所述承载板(1)上的转轴(21)、可旋转地连接于所述转轴(21)上的夹持片(22)、及套设于所述转轴(21)上的扭力弹簧(23)；所述夹持片(22)在所述扭力弹簧(23)的弹力作用下与所述承载板(1)相夹紧。
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