[发明专利]一种压力检测装置、支撑机构及传送装置有效
申请号: | 201610053605.6 | 申请日: | 2016-01-26 |
公开(公告)号: | CN105698743B | 公开(公告)日: | 2019-07-26 |
发明(设计)人: | 薛金祥;孙中元;张小磊 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G01B21/30 | 分类号: | G01B21/30;G01L19/06;G01L19/00 |
代理公司: | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人: | 林祥 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种压力检测装置、支撑机构及传送装置,该压力检测装置包括:压力感应单元、压力传递单元和压力检测单元,其中,所述压力传递单元将所述压力感应单元感应的压力传递到所述压力检测单元。本发明通过在支撑件上设置压力检测装置,在对样品传送的同时,检测样品对每个支撑机构的压力,从而可以根据每个支撑机构受到的压力大小来判断样品的平整度。 | ||
搜索关键词: | 一种 压力 检测 装置 支撑 机构 传送 | ||
【主权项】:
1.一种支撑机构,其特征在于,包括支撑件和压力检测装置,所述压力检测装置包括压力感应单元、压力传递单元和压力检测单元,所述压力传递单元将所述压力感应单元感应的压力传递到所述压力检测单元,所述压力传递单元为杠杆机构,所述杠杆机构包括支撑杆,所述支撑杆的一端支撑所述压力感应单元,另一端与所述压力检测单元接触,所述支撑杆具有位于两端之间的支点且所述支点由所述支撑件支撑,其中所述压力感应单元为滚珠且用于支撑样品,所述压力传递单元设置在所述支撑件上,所述压力传递单元将所述滚珠的压力传递到所述压力检测单元;所述支撑件具有开口向上的凹槽,所述滚珠位于所述凹槽的上方,并且所述凹槽的直径大于所述滚珠的直径,所述凹槽的底部设置有过载检测装置。
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