[发明专利]有机发光元件的有机层的制作方法有效

专利信息
申请号: 201610055543.2 申请日: 2016-01-27
公开(公告)号: CN107017343B 公开(公告)日: 2019-04-02
发明(设计)人: 周卓辉;李宗翰;撒琉斯·格瑞葛雷维休斯;金塔蕊·可鲁凯蒂 申请(专利权)人: 周卓辉
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00;H01L51/56
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 王玉双;祁建国
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开一种有机发光元件的有机层的制作方法,主要是藉由预混有机材料的方式,而将多种有机材料与有机溶剂进行溶解与混合,并且,在完成真空干燥程序之后,通过蒸镀物质容器而一次性地将混合的有机材料蒸镀于基板之上,并将该蒸镀物质容器退出,以依序地重复操作上述流程,进而于基板上依序地形成多个特定的有机层。
搜索关键词: 有机 元件 制作方法
【主权项】:
1.一种有机发光元件的有机层的制作方法,是通过可控制蒸镀顺序的一台蒸镀机台的辅助而完成,且所述蒸镀机台包括:一机台主体,具有一蒸镀空间;一加热蒸镀盘,设置于该蒸镀空间的底部,且该加热蒸镀盘之上设置有复数个加热电极;其中,该加热电极具有一容器固定件;复数个间隔板,每一个间隔板设置于两个相邻的加热电极之间;一真空模块,连接于该机台主体,用以使该蒸镀空间呈现真空状态;一基板载具,相对于该加热蒸镀盘而设置在该蒸镀空间的顶部,用以乘载至少一基板,使该基板相对于该加热电极;一膜厚感应器,设置于该蒸镀空间内;以及一挡板,设置于该蒸镀空间内;其特征在于,所述制作方法包含以下步骤:(1)将复数种有机材料分别秤量配置;(2)使用至少一种有机溶剂溶解该复数种有机材料,以形成复数种有机材料溶液;(3)依据调配比例,均匀地混合该复数种有机材料溶液,以获得一混合溶液;(4)将该混合溶液置入一第一蒸镀物质容器,进行真空干燥程序并产生一第一固态混合物质;接着,将该第一蒸镀物质容器放置于该复数个加热电极的一第一加热电极的容器固定件之上;(5)升起该复数个间隔板的一第一间隔板,并启用该第一加热电极加热所述第一蒸镀物质容器,利用气相沉积的方式将该第一固态混合物质沉积至该基板的表面,而于该基板的表面形成一第一有机层;(6)利用该膜厚感应器监测该第一有机层的膜厚;(7)于该第一有机层的膜厚达到预定的厚度之后,启用该挡板遮蔽该基板,避免所述第一固态混合物质继续沉积至该基板的表面;(8)关闭该第一加热电极,完成所述有机发光元件的该第一有机层的制作程序。
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