[发明专利]一种显影液的温度控制装置有效
申请号: | 201610059721.9 | 申请日: | 2016-01-28 |
公开(公告)号: | CN105573067B | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 潘金旺;范英春;任思雨;苏君海;李建华 | 申请(专利权)人: | 信利(惠州)智能显示有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 温旭 |
地址: | 516029 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种显影液的温度控制装置,包括:显影槽,循环泵,以及,温度调节管;温度调节管为集成有电热棒和通水管的双层设计的螺旋管;所述温度调节管横穿所述显影槽,并在所述显影槽的连接处对电热棒和通水管进行管路分离;所述显影槽边沿设置有两个分别用于连接至所述循环泵的接液端口,以在所述循环泵的驱动下,循环运输显影槽中的显影液。实施本发明实施例提供的显影液的温度控制装置,简化了装置的结构,同时因较强的温控能力能够适用于不同体积的显影槽,可以有效消除显影液局部浓度差和温度差,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 显影液 温度 控制 装置 | ||
【主权项】:
一种显影液的温度控制装置,其特征在于,包括:显影槽,循环泵,以及,温度调节管;所述温度调节管为集成有电热棒和通水管的双层设计的螺旋管;所述温度调节管横穿所述显影槽,并在所述显影槽的连接处对电热棒和通水管进行管路分离;所述显影槽边沿设置有两个分别用于连接至所述循环泵的接液端口,以在所述循环泵的驱动下,循环运输显影槽中的显影液。
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