[发明专利]蒸镀用遮挡装置以及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201610059917.8 | 申请日： | 2016-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN105568224B | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 赵德江 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀用遮挡装置，用于防止蒸镀时材料对蒸镀设备的污染，包括：一遮挡基板；用于增加所述遮挡基板的表面的不平整度的遮挡结构，所述遮挡结构设置于所述遮挡基板上。本发明的有益效果是：增加遮挡装置的使用寿命，防止真空腔体的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀用 遮挡 装置 以及 设备 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀用遮挡装置，用于防止蒸镀时材料对蒸镀设备的污染，其特征在于，包括：一遮挡基板；用于增加所述遮挡基板的表面的不平整度的遮挡结构，所述遮挡结构设置于所述遮挡基板上；所述遮挡基板用于连接所述遮挡结构的一面设置有用于吸附蒸镀出的材料的吸附涂层；所述遮挡结构为多个中空柱体结构连接形成的网格状结构；所述网格状结构包括多个相互独立的子网格状结构；所述网格状结构可拆卸的连接于所述遮挡基板上。
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