[发明专利]一种通过光学量测检测制品最佳焦距的方法在审
| 申请号： | 201610065840.5 | 申请日： | 2016-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN105547655A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 陈一慧;娄迪;陈卢佳 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种通过光学量检测制品最佳焦距的方法，采用KT Archer 10型OVL(重合精度)量测机台，测量掩膜版所搭载的重合精度标记图形的对角点间的距离。本发明能有效缩短量测CD(关键尺寸)的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通过 光学 检测 制品 最佳 焦距 方法 | ||
【主权项】：
一种通过光学量检测制品最佳焦距的方法，其特征在于：采用KT Archer 10型重合精度OVL量测机台，测量掩膜版所搭载的重合精度标记图形的对角点间的距离。
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