[发明专利]一种高灵敏度的双端对谐振式声表面波检测器在审
| 申请号： | 201610075248.3 | 申请日： | 2016-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN107040234A | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 刘久玲;何世堂;刘明华;孔银鸽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/24;G01N29/02 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双端对谐振式声表面波检测器，包括制作在基片(1)上的双端对谐振器，在基片(1)上设置有第二叉指换能器(3)，在第二叉指换能器(3)的两侧分别设置第一叉指换能器(2)和第三叉指换能器(4)，第二叉指换能器(3)和第一叉指换能器(2)形成间隔(7)，第二叉指换能器(3)和第三叉指换能器(4)形成间隔(8)；在第一叉指换能器(2)的另一侧设置有第一金属反射栅阵(5)，在第三叉指换能器(4)的另一侧设置有第二金属反射栅阵(6)；其中，间隔(7)与间隔(8)相等，且为上述叉指换能器的波长的0-3.5倍。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 谐振 表面波 检测器 | ||
【主权项】：
一种双端对谐振式声表面波检测器，包括制作在基片(1)上的双端对谐振器，其特征在于，在所述基片(1)上设置有第二叉指换能器(3)，在所述第二叉指换能器(3)的两侧分别设置第一叉指换能器(2)和第三叉指换能器(4)，所述第二叉指换能器(3)和所述第一叉指换能器(2)形成间隔(7)，所述第二叉指换能器(3)和所述第三叉指换能器(4)形成间隔(8)；在所述第一叉指换能器(2)的另一侧设置有第一金属反射栅阵(5)，在所述第三叉指换能器(4)的另一侧设置有第二金属反射栅阵(6)；其中，所述第一叉指换能器(2)、所述第二叉指换能器(3)和所述第三叉指换能器(4)的同步频率相同；所述间隔(7)与所述间隔(8)相等，且为所述第一叉指换能器(2)的波长、所述第二叉指换能器(3)的波长或所述第三叉指换能器(4)的波长的0‑3.5倍，其中，所述同步频率与所述波长的关系为：v＝λ×f，式中v为材料中的声速、f为所述同步频率以及λ为所述波长。
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