[发明专利]紫外激光远心F‑theta扫描场镜及基于该场镜的光学扫描系统

摘要

本发明涉及紫外激光远心F‑theta扫描场镜及基于该场镜的光学扫描系统。紫外激光远心F‑theta扫描场镜，从激光入射方向开始，包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，其中所述的第一透镜为双凹负透镜，第二透镜为凹面朝向入射光侧的弯月负透镜，第三透镜为双凸正透镜，第四片为双凸正透镜。与现有技术相比，本发明扫描场镜排布成“‑+++”的光焦度分布，使扫描场镜的出瞳位于无限远处，视场内的像方主光线的远心<3°，扫描场镜的像散得到良好的校正，小于0.05mm，而且镜片加工容易，造价低廉。

主权项

一种紫外激光远心F‑theta扫描场镜，其特征在于，从激光入射方向开始，包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，其中所述的第一透镜为双凹负透镜，第二透镜为凹面朝向入射光侧的弯月正透镜，第三透镜为双凸正透镜，第四片为双凸正透镜；第一透镜的两个球面S1和S2，其曲率半径分别为‑27.65mm和322.96mm，第一透镜的中心厚度为3mm，材料为熔石英玻璃，其折射率为Nd＝1.46，阿贝数Vd为68；第二透镜的两个球面S3和S4，其曲率半径分别为‑114.02mm和‑48.81mm，第二透镜的中心厚度为18.28mm，材料为熔石英玻璃，其折射率为Nd＝1.46，阿贝数Vd为68；第三透镜的两个球面S5和S6，其曲率半径分别为478.12mm和‑58.95mm，第三透镜的中心厚度为14.87mm，材料为熔石英玻璃，其折射率为Nd＝1.46，阿贝数Vd为68；第四透镜的两个球面S7和S8，其曲率半径分别为250.55mm和‑182.99mm，第四透镜的中心厚度为9.74mm，材料为熔石英玻璃，其折射率为Nd＝1.46，阿贝数Vd为68；第一透镜与第二透镜之间在光轴上的空气间隙为2.38mm，第二透镜与第三透镜之间在光轴上的空气间隙为0.5mm，第三透镜与第四透镜之间在光轴上的空气间隙为0.5mm，第四透镜与像面在光轴上的空气间隙为146mm。