[发明专利]一种压电陶瓷管扫描器的扫描范围校正方法及系统有效
| 申请号： | 201610079498.4 | 申请日： | 2016-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN105675922B | 公开（公告）日： | 2018-01-16 |
| 发明（设计）人： | 吴浚瀚 | 申请（专利权）人： | 广州市本原纳米仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01Q40/00 | 分类号： | G01Q40/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 | 代理人： | 胡辉 |
| 地址： | 510660 广东省广州市越秀区先*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压电陶瓷管扫描器的扫描范围校正方法及系统，方法包括从计算校正法、盲校正法和拟合校正法中选定一种基于样品厚度的扫描范围校正方法，并根据选定的校正方法得到压电陶瓷管扫描器的实际扫描范围与样品厚度的关系；获取被测样品的实际厚度，并根据被测样品的实际厚度以及实际扫描范围与样品厚度的关系对压电陶瓷管扫描器的扫描范围进行校正。本发明增设了计算校正法、盲校正法和拟合校正法，能得出实际扫描范围与样品厚度的关系并根据样品的实际厚度对扫描范围进行校正，有效校正了因样品厚度变化引起的压电陶瓷管扫描器扫描范围的变化，更加准确和可靠。本发明可广泛应用于显微镜技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 陶瓷 扫描器 扫描 范围 校正 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种压电陶瓷管扫描器的扫描范围校正方法，从计算校正法、盲校正法和拟合校正法中选定一种基于样品厚度的扫描范围校正方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、根据选定的校正方法得到压电陶瓷管扫描器的实际扫描范围与样品厚度的关系，其中，计算校正法根据给定的压电陶瓷管长度、给定的样品台高度以及1个给定厚度的标准样品得到实际扫描范围与样品厚度的关系，盲校正法根据两个给定厚度不同的标准样品得到实际扫描范围与样品厚度的关系，拟合校正法根据一系列不同给定厚度的标准样品实际扫描成像的结果拟合出实际扫描范围与样品厚度的关系；S2、获取被测样品的实际厚度，并根据被测样品的实际厚度以及实际扫描范围与样品厚度的关系对压电陶瓷管扫描器的扫描范围进行校正。
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