[发明专利]一种高性能精细化透明导电电极的制备方法有效

专利信息
申请号: 201610080148.X 申请日: 2016-02-05
公开(公告)号: CN105632652B 公开(公告)日: 2017-07-18
发明(设计)人: 胡彬;方云生;周军 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: H01B13/00 分类号: H01B13/00;H01L51/00;H01L51/52;G06F3/041
代理公司: 华中科技大学专利中心42201 代理人: 廖盈春
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供了一种高性能精细化透明导电电极的制备方法,包括下述步骤(1)通过非接触式一维纳米材料阵列的大面积组装方法获得单方向有序排列的金属纳米线阵列,并在与阵列垂直的方向采用所述非接触式一维纳米材料阵列的大面积组装方法,获得垂直方向的有序排列的金属纳米线阵列后形成金属纳米线透明导电网络;(2)对金属纳米线透明导电网络进行精细化刻蚀,并在刻蚀时选择与有序排列的金属纳米线平行的方向进行,刻蚀后获得精细化透明导电电极。本发明由于采用了沿着有序化排列的金属纳米线透明导电电极进行刻蚀的方式,能够充分保留沿着刻蚀方向的金属纳米线的完整性,使精细化的透明电极具有更优异更均匀的低电阻性能,从而可以应用于大尺寸高像素的显示或智能触控等对于精细化图案有需求的领域,同时降低器件工作功耗。
搜索关键词: 一种 性能 精细 透明 导电 电极 制备 方法
【主权项】:
一种高性能精细化透明导电电极的制备方法,其特征在于,包括下述步骤:(1)通过非接触式一维纳米材料阵列的大面积组装方法获得单方向有序排列的金属纳米线阵列,并在与阵列垂直的方向采用所述非接触式一维纳米材料阵列的大面积组装方法,获得垂直方向有序排列的金属纳米线阵列,组成的垂直交叉结构构成了金属纳米线透明导电网络;(2)对金属纳米线透明导电网络进行精细化刻蚀,并选择与有序排布的金属纳米线平行的方向作为刻蚀方向,充分保留沿着刻蚀方向的金属纳米线的完整性,刻蚀后获得具有精细结构的透明导电电极。
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