[发明专利]一种激光器阵列的制作方法及激光器阵列在审
| 申请号： | 201610083159.3 | 申请日： | 2016-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN107046229A | 公开（公告）日： | 2017-08-15 |
| 发明（设计）人： | 李连艳;陈向飞;陈玉桃;陆骏;张云山;施跃春 | 申请（专利权）人： | 南京威宁锐克信息技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/40 | 分类号： | H01S5/40;H01S5/12 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司11315 | 代理人： | 黄熊 |
| 地址： | 211106 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种激光器阵列的制作方法及激光器阵列。该方法包括利用重构-等效啁啾技术制备用于构成激光器阵列的无源芯片；制备用于构成激光器阵列的外延片；利用芯片键合技术对所述无源芯片和外延片进行键合；通过对所述外延片进行刻蚀及沉积金属等后续工艺，制备激光器阵列。本发明解决了现有技术中难以制备波长精确的硅基激光器阵列的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光器 阵列 制作方法 | ||
【主权项】：
一种激光器阵列的制作方法，其特征在于，包括：利用重构‑等效啁啾技术制备用于构成激光器阵列的无源芯片；制备用于构成激光器阵列的外延片；利用芯片键合技术对所述无源芯片和外延片进行键合；通过后续工艺，制备激光器阵列；所述后续工艺包括对所述外延片进行刻蚀和沉积金属工艺。
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