[发明专利]照明光学系统、照明方法、曝光装置以及曝光方法有效
| 申请号： | 201610084052.0 | 申请日： | 2009-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN105606344B | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 谷津修;田中裕久 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;杨林森 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种检查装置，其能够随时检查例如配置于照明光学系统的光路中的空间光调制器的反射镜部件的反射率。本发明是对具有被二维排列且被独立控制的多个光学部件的空间光调制器进行检查的检查装置(10)，其具备：共轭光学系统(11、12)，其配置于空间光调制器的光学上的下游侧，形成与多个光学部件所被排列的排列面在光学上共轭的共轭面；光检测器(13)，其具有配置于上述共轭面或其附近的检测面；检查部(14)，其基于光检测器的检测结果检查多个光学部件的光学特性。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 光学系统 方法 曝光 装置 以及 | ||
【主权项】：
1.一种照明光学系统，其利用来自光源的光对被照射面进行照射，其特征在于，所述照明光学系统具备：空间光调制器，其具有被二维排列且被独立控制的多个光学部件，分布形成光学系统，其基于穿过所述空间光调制器的光，来在照明光学系统的照明光瞳中形成给定的强度分布，以及检查装置，其对所述空间光调制器进行检查，所述检查装置具备:共轭光学系统，其形成与所述多个光学部件所被排列的排列面在光学上共轭的共轭面，光检测器，其具有配置于所述共轭面或其附近的检测面，以及检查部，其基于所述光检测器的检测结果，检查所述多个光学部件的光学特性。
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