[发明专利]一种超纯硫酸的制备方法

摘要

本发明公开了一种超纯硫酸的制备方法，以发烟硫酸为原料，包括如下步骤（1）蒸馏；（2）净化过滤；（3）分离三氧化硫液体；（4）二次蒸发；（5）多级吸收；（6）汽提塔除杂；（7）成品。本发明的超纯硫酸中，大于等于0.5μm颗粒浓度小于5p/ml，大于等于0.2μm颗粒浓度小于100 p/ml，单项金属离子含量小于0.1ppb，二氧化硫含量小于3ppm。本发明一种超纯硫酸的制备方法，工艺简单，能耗低，其先通过合理的提纯除杂工艺，得到纯净的三氧化硫气体，再通过多级吸收和气提，得到ppt级超纯硫酸，有效控制了超纯硫酸中微量二氧化硫杂质的含量，为新一代超纯硫酸的生产奠定了基础。

主权项

一种超纯硫酸的制备方法，以发烟硫酸为原料，其特征在于，包括如下步骤：（1）蒸馏：将发烟硫酸在一定压力下通入热交换器中，加热蒸馏，得到气化的三氧化硫气体和发烟硫酸回收液；所述压力为0 .15～0 .2MPa；（2）净化过滤：将步骤（1）中得到的三氧化硫气体通入分离器中去除颗粒杂质；（3）分离三氧化硫液体：将步骤（2）中过滤除杂后的三氧化硫气体依次经冷却和冷凝后，得到三氧化硫液体和气体杂质；（4）二次蒸发：将步骤（3）中得到的三氧化硫液体通入蒸发器中进行二次蒸发气化，得到三氧化硫气体；（5）多级吸收：经步骤（4）中得到的三氧化硫气体通入吸收塔，并用超纯水进行多级吸收，得到硫酸溶液；（6）汽提塔除杂：将步骤（5）中得到的硫酸溶液泵入汽提塔内，以洁净的空气为汽提介质，去除硫酸溶液中的二氧化硫；（7）成品：将步骤（6）中经汽提塔除杂后的硫酸溶液经冷凝器冷却后得到所述超纯硫酸；所述超纯硫酸中，大于等于0 .5μm颗粒浓度小于5p/ml，大于等于0 .2μm颗粒浓度小于100p/ml，单项金属离子含量小于0 .1ppb，二氧化硫含量小于3ppm。