[发明专利]曝光机及曝光灯的更换方法有效

专利信息
申请号: 201610087845.8 申请日: 2016-02-16
公开(公告)号: CN105487352B 公开(公告)日: 2017-06-27
发明(设计)人: 龚冰 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G02F1/13
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所44265 代理人: 林才桂
地址: 430070 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种曝光机及曝光灯的更换方法,所述曝光机包括外壳、集光镜、曝光灯、及数个喷气装置;所述数个喷气装置可在所述集光镜的上方进行伸缩;当曝光机正常工作时,数个喷气装置缩回至外壳顶部的外围而不影响正常曝光时光源的走向;当需要更换曝光灯时,关闭曝光灯后,通过将数个喷气装置伸出至其末端的出气口位于所述集光镜边缘区域的上方,对集光镜的内部及曝光灯进行喷气,从而使曝光灯实现快速降温,有效减少了曝光灯的更换时间,提升了设备稼动率;本发明的曝光灯的更换方法,可使曝光灯实现快速降温,并可避免更换曝光灯的过程中造成集光镜上粘附异物或灰尘。
搜索关键词: 曝光 更换 方法
【主权项】:
一种曝光灯的更换方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、提供曝光机,所述曝光机包括外壳(1)、设于所述外壳(1)中的上端开口的集光镜(2)、设于所述集光镜(2)中的曝光灯(3)、及设于所述外壳(1)顶部的外围且末端的出气孔朝下的数个喷气装置(4);所述数个喷气装置(4)可在所述集光镜(2)的上方进行伸缩;关闭所述曝光灯(3);步骤2、将所述数个喷气装置(4)伸出至其末端的出气孔位于所述集光镜(2)边缘区域的上方,对所述集光镜(2)的内部及曝光灯(3)进行喷气,从而使所述曝光灯(3)实现快速降温;步骤3、提供新曝光灯,对降温后的曝光灯(3)进行更换。
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