[发明专利]一种双面玻璃晶体硅太阳能电池表面钝化处理工艺

摘要

本发明公开了一种双面玻璃晶体硅太阳能电池表面钝化处理工艺，所述钝化处理工艺步骤如下：制绒、扩散、刻边、初次钝化、二次钝化和热处理，本发明采用二氧化硅氧化层和氮化铝钝化层的结构，提高太阳能电池板的转化率，提高使用率，且氧化层和钝化层相结合的结构避免了出现单一性缺点，提高太阳能电池板的使用寿命。

主权项

一种双面玻璃晶体硅太阳能电池表面钝化处理工艺，其特征在于：所述钝化处理工艺步骤如下：第一步：制绒，对晶体硅采用化学溶液进行腐蚀，去除晶体硅表面的杂质损伤层，且形成陷光绒面结构；第二步：扩散，对经过制绒处理的晶体硅进行高温P扩散处理，扩散后方块电阻为70 ～90Ω；第三部：刻边，刻蚀晶体硅片的边结；第四步：初次钝化，将刻蚀后的晶体硅片内置于密封80‑120°C高温环境下，通入氧气进行氧化处理，使晶体硅片表面形成氧化层；第五步：二次钝化，采用磁控溅技术，以Al作为靶材，NH4作为反应气源，惰性气体作为等离子体增强气，在初次钝化的晶体硅片表面沉积AlN薄膜作为钝化层；第六步：热处理，将二次钝化后的晶体硅片内置于120‑150°C高温密封环境下加热3‑5分钟。