[发明专利]有色玻璃滤光片强度与相位透过分布检测装置和方法有效
| 申请号： | 201610095067.7 | 申请日： | 2016-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN105699056B | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 朱海东;陈杰;郭爱林;胡恒春;谢兴龙;朱健强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯;张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种有色滤光片在其透光波段的强度和相位透过分布的光学检测装置和方法，该装置包括半导体光纤输出激光光源，由若干个口径大小不同的透镜和小孔光阑构成的准直缩束系统，有色玻璃滤光片夹持支架，两个透镜组成的成像系统，分束镜，CCD探测器，Hartmann波前传感器以及计算机组成。本发明可以实现对有色滤光片透过强度分布和相位分布同时进行检测，获取动态图像。对于强度透过分布均匀性和透射波前均具有严格要求并在高精度激光参数测量场合使用的有色滤光片来说，这种检测手段尤为重要。本发明装置结构简单，测量方法方便直观，检测结果准确，可用于有色滤光片光学加工的批量检测。 | ||
| 搜索关键词： | 有色玻璃 滤光 强度 相位 透过 分布 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种有色玻璃滤光片强度与相位透过分布检测装置，其特征在于：包括半导体光纤输出激光器(1)、沿该半导体光纤输出激光器(1)的输出光束方向同光轴依次放置的第一透镜(2)、孔径光阑(3)、第二透镜(4)、第三透镜(5)、供待测有色滤光片(7)放置的样品支架(6)、第四透镜(8)、第五透镜(9)和分束镜(10)，在该分束镜(10)的反射光路方向放置有CCD传感器(12)，该分束镜(10)的透射光路方向放置有Hartmann波前传感器(11)，以及分别与所述的Hartmann波前传感器(11)和CCD传感器(12)相连的计算机(13)；所述的半导体光纤输出激光器(1)的输出端口位于所述第一透镜(2)的焦点处，输出光束经过第一透镜(2)准直，得到大口径近理想平面波的激光光束；所述的第二透镜(4)和第三透镜(5)组成开普勒结构缩束成像系统，将孔径光阑(3)输出光束进一步缩小到填满待测元件的口径；所述的第四透镜(8)和第五透镜(9)为缩束成像透镜组，将待测有色滤光片的像缩束后成在传感器上；所述的分束镜(10)对通过待测有色滤光片的光束进行分束采集，且分别用Hartmann波前传感器(11)和CCD传感器(12)进行强度和相位分布的检测，最后将数据传输至计算机(13)进行处理和输出结果。
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