[发明专利]鳍状晶体管元件有效
| 申请号： | 201610096049.0 | 申请日： | 2016-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN107104137B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 林廷燿;周玲君;李坤宪 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/10 | 分类号： | H01L29/10;H01L29/78 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种鳍状晶体管(finFET)元件，其包含至少一鳍状结构，一第一导电型态掺杂阱以及一与之相邻的第二导电型态掺杂阱定义于该鳍状结构上，一凹槽位于该鳍状结构中，并位于该第一导电型态掺杂阱与该第二导电型态掺杂阱之间，一绝缘层位于该凹槽内，以及一金属栅极横跨并位于该绝缘层上。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体管 元件 | ||
【主权项】：
一种鳍状晶体管(finFET)元件，包含:至少一鳍状结构，包含有第一导电型态掺杂阱以及与之相邻的第二导电型态掺杂阱定义于该鳍状结构上；凹槽，位于该鳍状结构中，并位于该第一导电型态掺杂阱与该第二导电型态掺杂阱之间；绝缘层，位于该凹槽内；以及金属栅极，横跨并位于该绝缘层上。
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