[发明专利]一种超纯无硼氨水的制备方法在审

专利信息
申请号: 201610096593.5 申请日: 2016-04-07
公开(公告)号: CN105621453A 公开(公告)日: 2016-06-01
发明(设计)人: 张海;吴国新;曹文明 申请(专利权)人: 江苏达诺尔科技股份有限公司
主分类号: C01C1/02 分类号: C01C1/02
代理公司: 北京瑞思知识产权代理事务所(普通合伙) 11341 代理人: 张建生
地址: 215500 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种超纯无硼氨水的制备方法,包括依次且连续进行的如下步骤:(1)汽化;(2)净化过滤;(3)树脂吸附;(4)多级吸收;(5)除硼工艺;(6)超滤。上述方法所得的超纯无硼氨水中,大于等于0.5μm颗粒浓度小于3p/ml,大于等于0.2μm颗粒浓度小于30 p/ml,硼元素含量100PPT,单项金属离子含量小于30ppt,实测小于20ppt。本发明一种超纯无硼氨水的制备方法,工艺流程简单,容易实现,其通过硼特效树脂进行多级除硼操作,有效去除氨水中的硼元素,且该制备方法所用设备少,易于操作,生产成本低,为无硼化学品的开发奠定了基础。
搜索关键词: 一种 超纯无硼 氨水 制备 方法
【主权项】:
一种超纯无硼氨水的制备方法,其特征在于,包括依次且连续进行的如下步骤:(1)汽化:利用压缩机将液态氨从原料罐压送至蒸发器内利用热蒸汽蒸发成为氨气;(2)净化过滤:将步骤(1)中汽化后的氨气依次通过排水分离器和活性碳吸附器得到净化后的氨气;(3)树脂吸附:将步骤(2)中净化过滤后的氨气经过吸附树脂吸附处理;(4)多级吸收:将步骤(3)中树脂吸附后的氨气通过吸收塔,并用超纯水进行多级吸收,形成超纯氨水;(5)除硼工艺:将步骤(4)得到的超纯氨水通过多级硼特效树脂除硼,得到无硼氨水;(6)超滤:将步骤(5)中得到的无硼氨水进行超滤处理,得到所述超纯无硼氨水。
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