[发明专利]一种金刚石涂层刀具退涂的方法在审
| 申请号： | 201610099701.4 | 申请日： | 2016-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN105695949A | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 华庆 | 申请（专利权）人： | 苏州乐晶新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/02 | 分类号： | C23C16/02;C23C16/27;C23G5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚石涂层刀具退涂的方法，包括将磨损后的金刚石涂层刀具用丙酮、酒精清洗干净；将磨损后的金刚石涂层刀具固定于等离子增强化学气相沉积设备的样品台中央，待等离子增强化学气相沉积设备抽真空至1-5×10-3Pa以下，该设备采用3GHz微波产生的等离子束，加热至350-420℃之间，通入氧气、Cl2、ClO2和HCl等气体，处理时间为10-15min；处理完成后通入保护性气体冷却后取出刀具；取出刀具后用丙酮清洗去除刀具表面的微颗粒，露出刀具基体，完成退涂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 涂层 刀具 方法 | ||
【主权项】：
一种金刚石涂层刀具退涂的方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将磨损后的金刚石涂层刀具用丙酮、酒精清洗干净；(2)将磨损后的金刚石涂层刀具固定于等离子增强化学气相沉积设备的样品台中央，待等离子增强化学气相沉积设备抽真空至1‑5×10‑3Pa以下，该设备采用3GHz微波产生的等离子束，加热至350‑420℃之间，通入氧气、Cl2、ClO2和HCl等气体，处理时间为10‑15min，使得刀具表面磨损的金刚石涂层在Cl2、ClO2和HCl等气体的作用下与刀具表面剥离，同时在等离子束和氧气的作用下燃烧成微米级的细小颗粒；处理完成后通入保护性气体冷却后取出刀具；(3)取出刀具后用丙酮清洗去除刀具表面的微颗粒，露出刀具基体，完成退涂。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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