[发明专利]一种用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备

摘要

本发明实施例公开一种用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备。所述设备包括：石墨多孔气体入口及中路气体管道，所述中路气体管道的一端设置于所述反应器内，用于将待裂解的气体通入所述反应器中；主体内循环水套，用于冷却所述中路气体管道，其中，所述中路气体管道穿插通过所述主体内循环水套。本发明实施例通过充分冷却中路气体管道，使得待裂解气体的温度低于裂解温度，从而基本消除了中路气体管道管壁的沉积产物，也减少了待裂解气体入口处的沉积产物，能够适应高温条件下流化床化学气相沉积反应器的长期和稳定的运行。

主权项

1.一种用于流化床化学气相沉积反应器的气体入口设备，其特征在于，所述设备包括：中路气体管道，所述中路气体管道的一端设置于所述反应器内，用于将待裂解的气体通入所述反应器中；所述中路气体管道包括中路气体主管、金属短管和石墨气体分配器，所述中路气体主管和所述金属短管之间采用螺纹连接在一起，且所述金属短管的一端设置于所述反应器内；所述金属短管和多孔石墨分配器通过两端压力压紧在一起；主体内循环水套，用于冷却所述中路气体管道，其中，所述中路气体管道穿插通过所述主体内循环水套；石墨隔热套，与所述反应器和所述主体内循环水套连接，用于隔离所述反应器和所述主体内循环水套周围的热源。