[发明专利]形状测量装置、加工装置及形状测量方法有效
| 申请号： | 201610102657.8 | 申请日： | 2016-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN105928482B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 高娜;市原浩一 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种形状测量装置、加工装置、及形状测量方法本发明的形状测量装置通过将3个位移计配设成一列而成的检测仪对测量对象物进行扫描，并且对测量对象物的表面形状进行测量，该形状测量装置具备：间隙计算机构，根据3个位移计中的位于中间的位移计所测定的测定值和其他位移计所测定的测定值之差求出间隙数据；插值机构，求出间隙数据的平均值及标准偏差，并反复执行插值处理直至标准偏差的变化率成为预先设定的值以下，在插值处理中，用平均值对间隙数据中对根据标准偏差而设定的范围之外的值进行插值；形状计算机构，根据已执行插值处理后的间隙数据计算出测量对象物的表面形状。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测量 装置 加工 测量方法 | ||
【主权项】：
一种形状测量装置，其通过将3个位移计配设成一列而成的检测仪对测量对象物进行扫描，并且对所述测量对象物的表面形状进行测量，所述形状测量装置的特征在于，具备：间隙计算机构，根据所述3个位移计中的位于中间的位移计所测定的测定值和其他位移计所测定的测定值之差求出间隙数据；插值机构，求出所述间隙数据的平均值及标准偏差，并反复执行插值处理直至所述标准偏差的变化率成为预先设定的值以下，在所述插值处理中，用所述平均值对所述间隙数据中的根据所述标准偏差而设定的范围之外的值进行插值；及形状计算机构，根据已执行所述插值处理后的间隙数据计算出所述测量对象物的表面形状。
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