[发明专利]一种控制方法、射频功率分配器以及ICP设备有效
| 申请号： | 201610109005.7 | 申请日： | 2016-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN107134400B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 罗伟义;刘身健 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种控制方法、射频功率分配器、控制器以及ICP设备，该控制方法包括：获取所述内线圈相对于所述外线圈的电流比的期望值；计算所述电流比为所述期望值时对应的所述第一电容以及所述第二电容的电容值；根据计算结果调节所述第一电容以及所述第二电容的电容值，使得所述内线圈相对于所述外线圈的电流比为所述期望值。控制方法根据所述第一电容以及所述第二电容的电容值与所述电流比之间对应关系，可以快速确定不同电流比时对应的所述第一电容以及所述第二电容的电容值，根据确定的电容值直接调节第一电容以及第二电容以获取电流比的期望值，进而调节功率分配器的电流，达到调整输出功率相对分配的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 方法 射频 功率 分配器 以及 icp 设备 | ||
【主权项】：
1.一种控制方法，用于射频功率分配器，其特征在于，该射频功率分配器包括：外线圈、内线圈、第一电容、第二电容、第三电容以及第四电容；所述外线圈的一端通过所述第一电容连接第一节点，其另一端通过所述第三电容连接第二节点，所述第一节点用于连接射频匹配电路，并通过射频匹配电路连接到射频电源，所述第二节点用于连接接地端；所述内线圈的一端通过所述第二电容连接所述第一节点，其另一端通过所述第四电容连接所述第二节点；该控制方法包括：获取所述内线圈相对于所述外线圈的电流比的期望值；根据预设函数计算所述电流比为所述期望值时对应的所述第一电容以及所述第二电容的电容值；根据计算结果调节所述第一电容以及所述第二电容的电容值，使得所述内线圈相对于所述外线圈的电流比为所述期望值；其中，所述第一电容的电容值与所述第二电容的电容值之和为一预设常数；所述第三电容以及所述第四电容的电容值为固定值；所述预设函数是C1＝a*I3+b*I2+c*I+d，C1为所述第一电容的电容值，a，b，c以及d为常数，I为所述电流比。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中微半导体设备（上海）有限公司，未经中微半导体设备（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610109005.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：白炽灯
- 下一篇：一种控制方法、射频功率分配器以及ICP设备
