[发明专利]一种水性金刚线硅片切割液有效
申请号: | 201610109455.6 | 申请日: | 2016-02-26 |
公开(公告)号: | CN105695076B | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
发明(设计)人: | 张小飞 | 申请(专利权)人: | 常州高特新材料有限公司 |
主分类号: | C10M173/02 | 分类号: | C10M173/02;C10N30/04 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 王美华 |
地址: | 213100 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于硅晶体切割技术领域,尤其涉及一种水性金刚线硅片切割液。水性金刚线硅片切割液的组分包括极压剂、表面活性剂、消泡剂、渗透剂、丁苯橡胶乳液粘合剂和去离子水,该配方的水性金刚线硅片切割液在具有优异的润滑、冷却、防腐、防锈、抗极压功能的基础上,制备方法工艺简单、条件易控、成本低廉、对设备要求低,适于工业化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 水性 金刚 硅片 切割 | ||
【主权项】:
1.一种水性金刚线硅片切割液,其特征在于:所述的水性金刚线硅片切割液的组分包括极压剂、表面活性剂、消泡剂、渗透剂、丁苯橡胶乳液粘合剂和去离子水;其中,所述的水性金刚线硅片切割液按重量份数计算,包括以下各组分,![]()
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