[发明专利]半导体激光器巴条单元一致性检测仪及其检测方法有效

专利信息
申请号: 201610110814.X 申请日: 2016-02-29
公开(公告)号: CN105784330B 公开(公告)日: 2018-06-29
发明(设计)人: 曹军胜;高志坚;尹红贺 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 代理人: 刘慧宇
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 半导体激光器巴条单元一致性检测仪及其检测方法,属于半导体激光器的检测技术领域,为了检测激光器巴条各单元光电特性的均匀性,将探针台、光学透镜和线阵CCD均安装于一维导轨上;线阵CCD和程控电流源均与微控制器系统连接;被测巴条安装于探针台上,程控电流源的输出端连接探针台的电极,电极与被测巴条连接;微控制器系统控制程控电流源驱动被测巴条,被测巴条的各发光点经过光学透镜成像于线阵CCD,微控制器系统通过线阵CCD采集被测巴条各发光点的亮度峰值,扫描电流每增大一步,微控制器系统就读取一次线阵CCD,直至有发光点的亮度峰值达到线阵CCD的饱和值为止;微控制器系统以被测巴条各发光点的亮度为样本计算其方差。
搜索关键词: 巴条 微控制器系统 线阵CCD 发光点 半导体激光器 程控电流源 一致性检测仪 光学透镜 探针台 电极 检测 检测技术领域 读取 输出端连接 光电特性 扫描电流 样本计算 一维导轨 激光器 均匀性 一次线 方差 探针 成像 饱和 采集 驱动
【主权项】:
1.半导体激光器巴条单元一致性检测仪的检测方法,其特征是,包括以下步骤:步骤一,将探针台(1)、光学透镜(2)和线阵CCD(3)均安装于一维导轨(6)上;线阵CCD(3)和程控电流源(5)均与微控制器系统(4)连接;被测巴条(7)安装于探针台(1)上,程控电流源(5)的输出端连接探针台(1)的电极,电极与被测巴条(7)连接;步骤二,微控制器系统(4)控制程控电流源(5)产生步进扫描电流用于驱动被测巴条(7),被测巴条(7)的各发光点经过光学透镜(2)成像于线阵CCD(3),微控制器系统(4)通过线阵CCD(3)采集被测巴条(7)各发光点的亮度峰值,扫描电流每增大一步,微控制器系统(4)就读取一次线阵CCD(3),直至有发光点的亮度峰值达到线阵CCD(3)的饱和值为止;步骤三,微控制器系统(4)以步骤二中被测巴条(7)各发光点的亮度为样本计算其方差,作为评价被测巴条(7)各单元一致性的指标,方差越大说明一致性越差,方差越小则说明一致性越好;设被测巴条(7)有n个发光点,所测各发光点的亮度值分别为x1、x2、...、xn,则方差s2的计算公式为:其中,
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