[发明专利]一种自动键合设备在审
| 申请号： | 201610113300.X | 申请日： | 2016-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN107134421A | 公开（公告）日： | 2017-09-05 |
| 发明（设计）人： | 韩春燕 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种自动键合设备，包括一固定支架；安装于固定支架上的旋转电机，旋转电机驱动固定支架绕竖向中心轴旋转；固定于固定支架上的3n个拾取机构，3n个拾取机构以竖向中心轴为中心点对称分布于固定支架的底面上；以及n个拾取工位、n个对准工位和n个键合工位，n个拾取工位、n个对准工位和n个键合工位按顺序依次对应排列于3n个拾取机构的下方，其中，n为正整数。本发明通过旋转电机带动多个拾取机构的旋转，在同一时间内，分别对应不同的工位以实现拾取芯片、对准和键合工序，旋转后同时进入下一工位进行下一操作，从而大大提高了生产效率，且本发明结构简单，成本低、可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 设备 | ||
【主权项】：
一种自动键合设备，其特征在于，包括：一固定支架；安装于所述固定支架上的旋转电机，所述旋转电机驱动所述固定支架绕竖向中心轴旋转；固定于所述固定支架上的3n个拾取机构，所述3n个拾取机构以所述竖向中心轴为中心点对称分布于固定支架的底面上；以及n个拾取工位、n个对准工位和n个键合工位，所述n个拾取工位、n个对准工位和n个键合工位按顺序依次对应排列于所述3n个拾取机构的下方，其中，n为正整数。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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