[发明专利]一种用于金刚石线切割硅片的冷却液在审
| 申请号： | 201610113566.4 | 申请日： | 2016-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN107129858A | 公开（公告）日： | 2017-09-05 |
| 发明（设计）人： | 孙培亚;刘瑞鸿;唐骏;余刚 | 申请（专利权）人： | 镇江荣德新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;C10N30/04;C10N20/02;C10N30/12 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人： | 朱梅,师杨 |
| 地址： | 212200 江苏省镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于金刚石线切割的水基冷却液及其制备方法。所述用于金刚石线切割的水基冷却液包含99.8-99.95重量份的水、0.01-0.07重量份的润湿剂、0.01-0.07重量份的乳化分散剂、0.01-0.05重量份的消泡剂和0.001-0.015重量份的金属抑制剂。本发明所述的用于金刚石线切割的水基冷却液改变了传统的用油基冷却液进行金刚线切割单多晶硅片技术，在提升良率的同时，使切割液水含量达到99％以上，从而大大降低了切割成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金刚石 切割 硅片 冷却液 | ||
【主权项】：
一种用于金刚石线切割的水基冷却液，其包含99.8‑99.95重量份的水、0.01‑0.07重量份的润湿剂、0.01‑0.07重量份的乳化分散剂、0.01‑0.05重量份的消泡剂和0.001‑0.015重量份的金属抑制剂。
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