[发明专利]一种类金刚石薄膜离子源中离子的引出装置有效

专利信息
申请号: 201610115575.7 申请日: 2016-03-02
公开(公告)号: CN105506577B 公开(公告)日: 2018-01-23
发明(设计)人: 张心凤;郑杰;尹辉 申请(专利权)人: 安徽纯源镀膜科技有限公司
主分类号: C23C16/27 分类号: C23C16/27;C23C16/50
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230088 安徽省合肥市高新区创*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种类金刚石薄膜离子源中离子的引出装置,包括安装于保护外壳左端的隔板,隔板中部横向安装有工艺气体进气管,隔板左端面安装有内部挡板,内部挡板外周的隔板上固定有安装法兰,安装法兰上安装有离子源挡圈,内部挡板外侧间隔安装有工艺气体扩散板,工艺气体扩散板外周设有贯穿安装在内部挡板和隔板上的阳极,阳极与工艺气体扩散板之间钨丝。本发明的结构设计新颖,通过工艺气体扩散板及阳极的结构设计,可以有效提高工艺气体扩散均匀性,从而使薄膜的均匀性提高和沉积速率,而且二者可调节。
搜索关键词: 种类 金刚石 薄膜 离子源 离子 引出 装置
【主权项】:
一种类金刚石薄膜离子源中离子的引出装置,包括安装于保护外壳左端的隔板,隔板中部横向安装有工艺气体进气管,隔板左端面安装有内部挡板,内部挡板外周的隔板上固定有安装法兰,其特征在于,所述的安装法兰上安装有离子源挡圈,内部挡板外侧间隔安装有工艺气体扩散板,工艺气体扩散板外周设有贯穿安装在内部挡板和隔板上的阳极,阳极与工艺气体扩散板之间设有钨丝;所述的阳极包括支座及引导管、保护筒,保护筒内孔中设有支座,支座为三根呈品字型分布的固定杆,固定杆贯穿保护筒,固定杆一端固定于内部挡板和隔板,另一端铰接安装有连杆,连杆端部连接于引导管一端的外壁上,引导管与工艺气体进气管同轴;支座相对钨丝的高出3~10mm,阳极偏压40~125V;所述的保护外壳内腔中设有位于工艺气体进气管出口端一侧的磁铁。
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