[发明专利]一种硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法有效
| 申请号： | 201610119459.2 | 申请日： | 2016-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN105776219B | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 程志 | 申请（专利权）人： | 安庆中凯信息技术咨询有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/956 | 分类号： | C01B32/956;C01B33/02;B03D1/018;B03D101/02 |
| 代理公司： | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 | 代理人： | 程笃庆;黄乐瑜 |
| 地址： | 246200 安徽省安庆市望江县*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法，包括如下步骤：取硅片切削废液过滤，酸洗滤饼得到废料；将废料加入水中，升温，搅拌保温，加浮选溶液，搅拌，静置，取上层溶液纯化干燥得到碳化硅；取下层固体纯化干燥得到硅；其中，浮选溶液的原料包括：煤油、十二烷基胺醋酸盐、十八烯酸钠、松节油透醇、仲辛醇、磷酸乙二胺、磷酸丙二胺、羧甲基纤维素钠、乙二酸、质量分数为30‑36wt％盐酸水溶液、水。本发明操作简单，能耗低，回收得到的碳化硅和硅的纯度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切削 废液 碳化硅 回收 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法，其特征在于，包括如下步骤：取硅片切削废液，加入降粘剂混匀，过滤，用浓度为2‑3mol/L 盐酸水溶液洗滤饼40‑50min，过滤干燥得废料；将废料加入水中，升温至60‑80℃，搅拌保温15‑25h，加浮选溶液，以200‑400r/min的速度搅拌20‑30min，静置1‑3h，取上层溶液，过滤，用乙醇和水依次洗涤，过滤，干燥得到碳化硅；取下层固体，过滤，用乙醇和水依次洗涤，过滤，干燥得到硅；其中，浮选溶液的原料包括：煤油、十二烷基胺醋酸盐、十八烯酸钠、松节油透醇、仲辛醇、磷酸乙二胺、磷酸丙二胺、羧甲基纤维素钠、乙二酸、质量分数为30‑36wt％盐酸水溶液、水。
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