[发明专利]电阻式随机存取存储器有效
| 申请号： | 201610120845.3 | 申请日： | 2016-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN106876583B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 陈达;王炳琨;廖绍憬;许博砚;陈宜秀;沈鼎瀛;吴伯伦;林孟弘 | 申请（专利权）人： | 华邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马雯雯;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电阻式随机存取存储器，包括下部电极、上部电极、可变电阻层、氧交换层以及侧壁保护层。下部电极设置于基底上。上部电极设置于下部电极上。可变电阻层设置于下部电极与上部电极之间。氧交换层设置于可变电阻层与上部电极之间。侧壁保护层，其为氧供应层，至少设置于氧交换层的侧壁。本发明提供的电阻式随机存取存储器，能够增进存储器元件的高温数据保持特性以及耐久性，并且能够增加存储器元件的产率以及稳定度。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 随机存取存储器 | ||
【主权项】：
电阻式随机存取存储器，其特征在于，包括：下部电极，设置于基底上；上部电极，设置于所述下部电极上；可变电阻层，设置于所述下部电极与所述上部电极之间；氧交换层，设置于所述可变电阻层与所述上部电极之间，其中所述氧交换层、所述可变电阻层及所述下部电极的侧壁连续地连接；以及侧壁保护层，为氧供应层，至少设置于所述氧交换层的侧壁。
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