[发明专利]微结构加工装置在审
| 申请号： | 201610120961.5 | 申请日： | 2016-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN106873166A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 詹家铭;洪正翰;林英傑 | 申请（专利权）人： | 财团法人金属工业研究发展中心 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司11355 | 代理人： | 张雅军 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微结构加工装置，用于加工一个待加工件。该微结构加工装置包含一个可控制出光方向、出光形状的光源、一个位于该光源及该待加工件间的第一锥状镜，及一个第二锥状镜，两个环锥面以反向对位。通过该第一锥状镜生成贝索光形光束，并经过该第二锥状镜将该贝索光束折变，将该待加工件加工出几何结构。再通过调整该第一锥状镜及该第二锥状镜，可控制该光源在该待加工件所加工出的几何结构，利于弹性生产制造。 | ||
| 搜索关键词： | 微结构 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种微结构加工装置，用于加工一个待加工件，其特征在于：该微结构加工装置包含一个可控制出光方向及出光形状并朝该待加工件方向出光的光源、一个位于该光源及该待加工件间的第一锥状镜，及一个位于该第一锥状镜及该待加工件间的第二锥状镜，该光源投射出的光是依序通过该第一锥状镜及该第二锥状镜而形成贝索光束，以加工该待加工件。
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