[发明专利]大曲率透镜表面用的红外紫外截止滤光膜结构及制作方法有效
| 申请号： | 201610122026.2 | 申请日： | 2016-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN105589123B | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 冯君刚;谢志高;李毅帧;聂小飞;叶忠海 | 申请（专利权）人： | 舜宇光学（中山）有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 | 代理人： | 吴剑锋;邹涛 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种大曲率透镜表面用的红外紫外截止滤光膜结构及制作方法，大曲率透镜表面用的红外紫外截止滤光膜结构，包括大曲率透镜，所述大曲率透镜上设置有红外紫外截止滤光膜，该红外紫外截止滤光膜包括依次交替堆叠在大曲率透镜上的低折射率膜层和高折射率膜层；低折射率膜层的层数≥10，高折射率膜层的层数≥10。所述红外紫外截止滤光膜为45层的多膜层结构。所述低折射率膜层的材料采用SiO2，高折射率膜层的材料采用Ti3O5或Ta2O5。本发明具有结构简单合理、膜层均匀性一致、膜层牢固度强的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 曲率 透镜 表面 红外 紫外 截止 滤光 膜结构 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种大曲率透镜表面用的红外紫外截止滤光膜结构的制作方法，其中大曲率透镜表面用的红外紫外截止滤光膜结构包括大曲率透镜，所述大曲率透镜上设置有红外紫外截止滤光膜，该红外紫外截止滤光膜包括依次交替堆叠在大曲率透镜上的低折射率膜层和高折射率膜层；所述红外紫外截止滤光膜为45层的多膜层结构;其特征是制作方法包括以下步骤：步骤一，镀膜前，以大曲率透镜为基片，将基片加温，加热温度为150±20℃；步骤二，将经过步骤一加热处理后的基片进行离子轰击处理：在真空压力为（8.0±2）×10‑4Pa下，启动RF离子源，所述RF离子源的参数为：beam voltage：800V，beam current：800mA，离子轰击时间为60s；步骤三，在基片上镀第一层膜，该第一层膜为低折射率膜层，镀膜时使用的材料为SiO2，镀膜的膜层厚度为81.6±1nm，镀膜时的真空压力为（8.0±2）×10‑4Pa，蒸发速率为8.0±2 Å /s；步骤四，在第一层膜上镀第二层膜，该第二层膜为高折射率膜层，镀膜时使用的材料为Ti3O5 或Ta2O5，镀膜的膜层厚度为7.6±1nm，镀膜时的真空压力为（1.6±0.3）×10‑2Pa，蒸发速率为4.0±1.5 Å /s；步骤五，接下来，在第二层膜上依次交替蒸发并形成第三层膜和第四层膜，也就是在第二层膜上依次交替蒸发并形成低折射率膜层和高折射率膜层，膜层厚度如膜层厚度表所示，镀膜时的真空压力和蒸发速率分别与步骤三和步骤四相同；步骤六，按照步骤五依次镀完45层膜；所述红外紫外截止滤光膜中的各膜层厚度见膜层厚度表：
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