[发明专利]一种球体真空镀膜装夹装置有效

专利信息
申请号: 201610124466.1 申请日: 2016-03-04
公开(公告)号: CN105671512B 公开(公告)日: 2018-10-26
发明(设计)人: 陈仁德;汪爱英;孙丽丽;张栋;柯培玲;郭鹏;李晓伟 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 代理人: 李丽华
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种球体真空镀膜装夹装置,包括一个底盘,一个中心轴,一个公转驱动机构,至少一个球体装夹机构,以及一个自转驱动机构。所述球体装夹机构包括一盘滚动轴承,一个设置在所滚动轴承上的自转轴,一个与公转驱动机构固定连接的盖板,以及一个固定设置在该盖板上的放置环。所述滚动轴承设置在所述自转轴与公转驱动机构之间。所述放置环与自转轴间隔设置以放置被镀膜球体。由于所述球体真空镀膜装夹装置具有所述的公转驱动机构与自转驱动机构,该公转驱动机构与自转驱动机构分别驱动所述球体装夹机构作自转与公转运动,形成两轴转动,从而可以使所述被镀膜球体完成全表面镀膜,且即不用夹持该被镀膜球体也不用在该被镀膜球体上打孔。
搜索关键词: 一种 球体 真空镀膜 装置
【主权项】:
1.一种球体真空镀膜装夹装置,其特征在于:所述球体真空镀膜装夹装置包括一个底盘,一个固定设置在所述底盘上的中心轴,一个围绕该中心轴旋转的公转驱动机构,一个与公转驱动机构固定连接的盖板,以及一个固定设置在该盖板上的放置环,至少一个设置在所述公转驱动机构上并随该公转驱动机构绕所述中心轴旋转的球体装夹机构,以及一个设置在所述底盘上并围绕该中心轴旋转并驱动所述球体装夹机构自转的自转驱动机构,所述球体装夹机构包括一盘滚动轴承,一个设置在所滚动轴承上的自转轴,所述滚动轴承设置在所述自转轴与公转驱动机构之间,所述放置环与所述自转轴之间存在间隙,所述间隙小于所述被镀膜球体的直径,所述放置环以及所述自转轴配合支撑所述被镀膜球体,所述自转轴的转动能够带动所述被镀膜球体沿所述间隙运动。
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