[发明专利]蚀刻液再生系统

摘要

本发明提供一种蚀刻液再生系统。所述蚀刻液再生系统包括主液管路、取样管路和多条添加管路、设置于所述取样管路内的成份检测单元及与所述成份检测单元电连接的控制器，所述取样管路的进液端和所述添加管路的出液端分别与所述主液管路连通，所述主液管路包括主液流量计及水射器，沿主液流动方向，所述主液流量计与所述取样管路的进液端设置于所述水射器的后端，多条所述添加管路的出液端分别与所述水射器连通，所述添加管路包括与所述水射器连通的药水流量计及设置于所述水射器与所述药水流量计之间的气阀，所述药水流量计、气阀分别与所述控制器电连接。与相关技术相比，本发明提供的蚀刻液再生系统能够自动确定各药水添加量且精度高。

主权项

一种蚀刻液再生系统，其特征在于，包括主液管路、取样管路、多条添加管路、用于检测主液成份的成份检测单元及控制器，所述取样管路的进液端和所述添加管路的出液端分别与所述主液管路连通，所述成份检测单元位于所述取样管路内，所述主液管路包括由管道依次连通的主液流量计及水射器，沿主液流动方向，所述主液流量计与所述取样管路的进液端均设置于所述水射器的后端，多条所述添加管路的出液端分别与所述水射器连通，所述添加管路包括药水流量计及气阀，所述药水流量计、所述气阀和所述水射器依次连通，所述成份检测单元、主液流量计、药水流量计和所述气阀分别与所述控制器电连接。