[发明专利]气流流向调整系统有效
| 申请号： | 201610127445.5 | 申请日： | 2016-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN105759572B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 孟庆阳 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;G02F1/13 |
| 代理公司： | 44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 黄威<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气流流向调整系统，用于烘烤设备的烘烤制程中，通过排气孔设置于所述容纳本体的侧壁，避免灰尘从第一开口以及第二开口带出外部，以改善液晶显示器的制程中环境的洁净度，并且通过流向控制单元导引所述气体朝向所述基板的表面以外的空间传入所述容纳本体内，以避免在液晶显示器的基板产生水痕。 | ||
| 搜索关键词： | 气流 流向 调整 系统 | ||
【主权项】：
1.一种气流流向调整系统，适用于烘烤设备的烘烤制程，其特征在于，包括：/n一容纳本体，用以形成一反应腔室以收容一基板于所述反应腔室中，所述容纳本体包括第一开口以及相对所述第一开口的第二开口；/n一第一门板组件，枢接于所述容纳本体并且选择性覆盖所述第一开口，用以开启所述第一开口以使所述容纳本体形成开放状态，或是关闭所述第一开口以使所述容纳本体形成密闭状态；/n一流向控制单元，设置于所述容纳本体内并且设有若干进气孔，所述流向控制单元用以接收气体并且通过所述若干进气孔导引所述气体朝向所述基板的表面以外的空间传入所述容纳本体内，使所述气体充满于所述反应腔室中以涵盖所述基板；以及/n一加热装置，设置于所述容纳本体内，用以对所述反应腔室中的气体加热，通过加热后的所述气体流经所述基板的表面，以烘烤所述基板上的图案，以使所述基板上的图案形成固化。/n
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