[发明专利]基板破片检测装置和基板加工设备在审
| 申请号： | 201610132476.X | 申请日： | 2016-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN105738383A | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 李任鹏;何恭育 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G02F1/13 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板破片检测装置，包括检测单元和输出元件，所述检测单元置于所述基板下方，所述检测单元包括光发射器及与所述光发射器相匹配的光接收器，所述输出元件与所述光接收器连接，用以输出检测结果。本发明中利用光的直线传播原理，检测基板是否破片，并通过输出元件输出检测结果，实现了对基板破片异常的检测，提高了基板的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 破片 检测 装置 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种基板破片检测装置，其特征在于，包括检测单元和输出元件，所述检测单元置于所述基板下方，所述检测单元包括光发射器及与所述光发射器相匹配的光接收器，所述输出元件与所述光接收器连接，用以输出检测结果；所述基板破片检测装置工作过程中，所述光发射器发出光线，若所述基板完好，则光线传播过程中没有阻挡，光接收器接收到光线；若所述基板破片并下坠，则光线被所述基板下坠部分折射，使得所述光接收器接收不到光线；所述输出元件根据光接收器接收光线情况，输出相应检测结果。
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