[发明专利]液滴检查装置和液滴检查方法有效
| 申请号： | 201610132646.4 | 申请日： | 2016-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN107179287B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 尾上幸太朗;八寻俊一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/33 | 分类号： | G01N21/33;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;朱弋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种适当检查被排出到被排出体的液滴的液滴检查装置。液滴检查装置(1)包括：将紫外线照射到存在液滴(21)的检查片(20)上的照射区域(22)的照射部(10)；对液滴(21)(或检查片(20))发光的照射区域(22)进行拍摄的拍摄部(11)；设置在拍摄部(11)的光轴上、用于屏蔽在检查片(20)上反射的紫外线(31)的紫外线屏蔽滤光器(12)；和基于由拍摄部(11)拍摄的拍摄图像，计测液滴(21)的大小和检查片(20)上的液滴(21)的位置的计测部(13a)。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种液滴检查装置，其用于检查排出到被排出体的液滴，所述液滴检查装置的特征在于，包括：将紫外线照射在存在所述液滴的所述被排出体上的照射区域的照射部；对所述液滴或所述被排出体发光的所述照射区域进行拍摄的拍摄部；和基于由所述拍摄部拍摄的拍摄图像，计测所述液滴的大小和所述被排出体上的所述液滴的位置的计测部。
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