[发明专利]液相生长氮化镓晶体的装置在审
| 申请号： | 201610140081.4 | 申请日： | 2016-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN105648533A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 陈蛟;罗睿宏;巫永鹏;张国义 | 申请（专利权）人： | 东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B9/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523518 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明一种液相生长氮化镓晶体的装置，包括：反应釜、置于反应釜外的加热装置、放置于反应釜内的坩埚、坩埚内装的生长溶液和籽晶、及电磁感应驱动搅拌装置。所述搅拌装置，有两种：第一种为电磁感应装置驱动搅拌器旋转型，第二种为电磁感应装置驱动坩埚旋转型；所述电磁感应装置，由置于反应釜外的外部线圈装置及与其连接的交变电源、与搅拌器或坩埚固定连接的内部线圈装置组成。本发明，电磁感应驱动搅拌装置，可使晶体生长溶液混合均匀，搅拌可控，利于晶体均匀生长，较实用。 | ||
| 搜索关键词： | 相生 氮化 晶体 装置 | ||
【主权项】：
液相生长氮化镓晶体的装置，包括：反应釜、置于反应釜外的加热装置、放置于反应釜内的坩埚、坩埚内装的晶体生长溶液、浸没在晶体生长溶液中的籽晶，其特征在于，还包括电磁感应装置及搅拌器；所述电磁感应装置，包括：置于反应釜外的外部线圈装置及与外部线圈装置连接的交变电源、置于反应釜内的内部线圈装置，外部线圈装置与内部线圈装置位置内外相对应；所述内部线圈装置设置在反应釜的内部，位于坩埚上方，通过中轴固定于反应釜顶部；所述搅拌器浸没在生长溶液中，固定连接于内部线圈装置的下方；所述电磁感应装置驱动搅拌器旋转搅拌晶体生长溶液。
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