[发明专利]消色谱效应的超高真空腔对高压气体采样装置

摘要

本发明提供了一种消色谱效应的超高真空腔对高压气体采样装置，其特征在于，包括用于在高压环境下采样的独立安装的不锈钢毛细管、独立的微分泵组及与超高真空腔直接相连的真空泵组，微分泵组及真空泵组具有完全隔断独立的抽气通道，微分泵组及真空泵组通过各自的抽气通道将气体自不锈钢毛细管抽出，被抽出不锈钢毛细管的气体一部分流入超高真空腔，另一部分流入微分泵组，由针阀或高精度流量阀调制输入超高真空腔与输入微分泵组的气体流量的配比。本发明以较低的成本，满足了通过超高真空设备在大范围不同气压环境中采样的要求，并能够保持真空保护的工作测试设备有恒定的气压工作环境。

主权项

一种消色谱效应的超高真空腔对高压气体采样装置，其特征在于，包括用于在高压环境下采样的独立安装的不锈钢毛细管(2)、独立的微分泵组及与超高真空腔直接相连的真空泵组，微分泵组及真空泵组具有完全隔断独立的抽气通道，微分泵组及真空泵组通过各自的抽气通道将气体自不锈钢毛细管(2)抽出，被抽出不锈钢毛细管(2)的气体一部分流入超高真空腔，另一部分流入微分泵组，由针阀(3)或高精度流量阀(4)调制输入超高真空腔与输入微分泵组的气体流量的配比。