[发明专利]可原位进行X射线光电子能谱分析的微动磨损试验装置有效

专利信息
申请号: 201610141119.X 申请日: 2016-03-14
公开(公告)号: CN105606477B 公开(公告)日: 2018-07-06
发明(设计)人: 朱旻昊;彭金方;万幸芝;蔡振兵;刘新龙;林映武;张晓宇;莫继良;章武林;刘曦洋 申请(专利权)人: 西南交通大学;朱旻昊;彭金方;万幸芝;蔡振兵;刘新龙;林映武;张晓宇;莫继良;章武林;刘曦洋
主分类号: G01N3/56 分类号: G01N3/56;G01N3/04
代理公司: 成都博通专利事务所 51208 代理人: 陈树明
地址: 610031 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 一种可原位进行X射线光电子能谱分析的微动磨损试验装置,其主要结构是:微动磨损试验机的施力杆的中下部及以下的所有部件均密封包裹在真空腔内;真空腔上安装有真空计,真空腔的左部通过连接管与X射线光电子能谱分析仪的真空进样腔连接;真空腔后部与真空泵连接;真空腔的右部与磁力杆密封连接;磁力杆的内腔套有推杆,磁力杆的外周面套合带磁性的磁力环;推杆的右部带磁性,推杆的左端部安装有可与微动磨损试验机的下夹具卡合的卡合装置。该装置能够真空微动磨损试验结束后,随即在同一真空环境下,对磨痕表面和磨屑成分进行原位X射线光电子能谱分析,从而更准确、更可靠第得出材料在真空环境的微动服役性能及其损伤机理。
搜索关键词: 微动磨损试验 真空腔 推杆 磁力杆 真空环境 右部 的卡合装置 真空泵连接 服役性能 密封包裹 密封连接 磁力环 进样腔 连接管 内腔套 施力杆 外周面 下夹具 真空计 左端部 卡合 磨痕 磨屑 套合 微动 左部 损伤
【主权项】:
1.一种可原位进行X射线光电子能谱分析的微动磨损试验装置,包括X射线光电子能谱分析仪、微动磨损试验机、微动磨损试验机上的施力杆(9)、三维力传感器(7)、上夹具(6)、下夹具(29)和下夹具固定机构,其特征在于:所述的施力杆(9)的中下部及三维力传感器(7)、上夹具(6)、下夹具(29)和下夹具固定机构均密封包裹在真空腔(3)内,真空腔(3)的底部安装在箱型的基座(1)的顶部;所述的真空腔(3)上安装有真空计(28),真空腔(3)的左部设有水平的连接管(3a),连接管(3a)通过法兰与X射线光电子能谱分析仪的真空进样腔连接;所述的真空腔(3)还通过后部的接口法兰(3b)与真空泵连接;所述的真空腔(3)的右部与磁力杆(13)密封连接;磁力杆(13)的内腔套有方形的推杆(15),磁力杆(13)的外周面套合带磁性的磁力环(14);推杆(15)的右部带磁性,推杆(15)伸入真空腔(3)的左端部安装有可与微动磨损试验机的下夹具(29)卡合的卡合装置。
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