[发明专利]绑定式磁控溅射旋转靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201610143209.2 | 申请日： | 2016-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN105624627B | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 徐从康 | 申请（专利权）人： | 无锡舒玛天科新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 214192 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种绑定式磁控溅射旋转靶材及其制备方法，所述绑定式磁控溅射旋转靶材包括背管以及固定套接在背管外壁的靶管，所述靶管为至少一个，所述背管外壁设有开口槽，所述靶管是通过填充在开口槽内的无铟钎焊材料经旋转加热焊接固定在背管外壁的，所述靶管内壁与背管外壁间隙为0.2‑0.4mm。所述绑定式磁控溅射旋转靶材的制备方法包括如下步骤：选取背管，在背管外壁机加工开口槽，清洗烘干后水平固定到旋转设备上，在开口槽内加入无铟钎焊材料；选取靶管，对靶管内壁进行金属化处理；将处理后的靶管套到准备好的背管上；启动旋转设备，对背管内壁和靶材外壁同时加热，绑定完成后，关掉加热源，保持旋转设备工作，直至靶管冷却到室温。该方法操作简单、效率高、成本低、应用范围广，并且通过该制备方法所得靶材尺寸不受限制、利用率高。 | ||
| 搜索关键词： | 定式 磁控溅射 旋转 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种绑定式磁控溅射旋转靶材的制备方法，其特征在于：所述绑定式磁控溅射旋转靶材包括背管以及固定套接在背管外壁的靶管，所述靶管为至少一个，所述背管外壁设有开口槽；所述靶管通过填充在开口槽内的无铟钎焊材料焊接固定在背管外壁；通过以下方法制备：选取背管，在背管外壁机加工开口槽，清洗烘干后水平固定到旋转设备上，在开口槽内加入无铟钎焊材料；选取靶管，对靶管内壁进行金属化处理；将处理后的靶管套到准备好的背管上；启动旋转设备，对背管内壁和靶材外壁同时加热，绑定完成后，关掉加热源，保持旋转设备工作，直至靶管冷却到室温，即得；其中，所述无铟钎焊材料不使用熔剂，加入量为开口槽槽深的一半；所述金属化处理是对靶管内壁进行Ni镀膜；绑定过程中控制旋转速度为15—20转/分钟，加热温度为180℃—350℃。
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