[发明专利]一种磁光记录介质镀膜用稀土过渡合金旋转靶材的制备方法及其制备靶材

摘要

本发明公开了一种稀土‑过渡合金旋转靶材的制备方法及其制备靶材，所述方法包括：稀土过渡金属合金的制备，真空浇注稀土过渡金属合金中空靶管，热等静压浇注好稀土过渡金属合金靶管，机械加工，铟绑定。通过本方法制备的稀土过渡合金旋转靶材，成分均匀，相对密度可达到99.9％，纯度可达到99.99％，长度不受限制，克服了旋转靶材成分偏析，脆性大等缺点，降低了靶材的孔隙率，使其在使用过程中稳定放电，从而提高磁光记录介质薄膜的品质。另外，该方法工艺简单，操作方便，在热等静压时，不需要常规的包套及氩弧焊，减少后续工序，可对靶管直接进行热等静压，降低生产成本。

主权项

1.一种磁光记录介质镀膜用稀土过渡合金旋转靶材的制备方法，其特征在于步骤如下：（1）选择稀土金属和过渡金属为原料，将包含稀土金属A和B的稀土合金块破碎，得混合物A1；将包含过渡金属C和D的过渡金属合金块破碎，得混合物C1；将包含上述A、B、C、D的混合粉末加热到1540‑1600℃，保温1‑2小时，然后将温度降到1200‑1260℃，再加入上述混合物A1和C1继续保持1200‑1260℃加热，制得稀土过渡金属合金；所述稀土金属A和B为Nd、Dy、Ce、Tb、Sm、Gd、Pr中任意两种，过渡金属C和D为Fe 、Co；所述稀土金属A和B原子比为（23‑45）:（55‑77），过渡金属C和D原子比为（65.5‑80.5）：（19.5‑34.5）；所述A、B、C、D的混合粉末原子比为（10‑15）：（35‑40）：（25‑44）：（11‑20）；（2）在真空下，将制备得到稀土过渡金属合金倒入模具中成型，冷却后脱模；（3）将真空浇注得到的靶管放入热等静压机进行压制；所述热等静压的压力为150‑200Mpa，保温时间1‑2小时，热等静压的介质为氩气；（4）将步骤(3)热等静压得到的靶管进行机械加工；（5）将步骤(4)机械加工好的靶管进行铟绑定；步骤（1）所述稀土金属合金块破碎为粒径400 ‑600微米，过渡金属合金块破碎为粒径为200 ‑300微米；步骤（4）所述机械加工包括将热等静压好的靶管放在锯床上锯平一头，将锯好的靶管放在内圆磨床上打磨，然后放在平面磨床上对两个端面进行磨平；将内圆磨好，两端磨平的靶管放在外圆磨床上打磨；步骤（5）所述铟绑定包括先用高温胶带把将步骤（4）机械加工好的靶管的外圆封好；用超声波将铟涂抹在靶管内圆壁上，将不锈钢管外圆上也用超声波把铟涂在上面；将不锈钢管竖着固定在绑定架上，将一节稀土过渡金属合金靶管从上往下放到不锈钢管底端，将加热管放入不锈钢管内圆中靶管的位置进行加热，加热的温度是180‑200℃，当铟熔化时，就可以往不锈钢管和靶管的空隙中加铟直到加满为上，进行降温；在绑定第二个靶管时应在第一个靶管上面放一个硅胶以保证每节靶管之间的间隙小于0.5毫米，通过这样的绑定即得到稀土过渡合金旋转靶材。