[发明专利]一种平板显示器触摸屏用铝稀土合金旋转溅射靶材的制备方法及其制备靶材

摘要

本发明公开了一种平板显示器触摸屏用铝稀土合金旋转溅射靶材的制备方法及其制备靶材，其制备方法包括以下步骤：粉末制备，冷等静压，真空烧结，热等静压，机械加工，铟绑定。该方法工艺简单，操作方便，在热等静压时，不需要常规的包套及氩弧焊，减少后续工序，可大靶管直接进行热等静压，降低生产成本。本方法制备的铝稀土合金旋转溅射靶材成分均匀，长度可达到4000mm或更长，靶管厚度可达到25mm，靶材相对密度≥99.9％，纯度≥99.99％，晶粒尺寸小于30微米，所制备的旋转靶材属于高端旋转靶材，可以运用到更为广泛的领域。 1

主权项

1.一种平板显示器触摸屏用铝稀土合金旋转溅射靶材的制备方法，其特征在于步骤如下：(1) 选择铝粉和稀土粉末为原料混合，加工制备得到铝稀土粉末；(2) 将混合好的铝稀土粉末装入模具放入冷等静压机，冷等静压后得到生坯靶管；所述冷等静压的压力为 150‑250Mpa，按每分钟10Mpa 进行增压，待到150‑250Mpa后保压 5‑25 分钟，按照每分钟 10Mpa 进行泄压；(3) 将经过冷等静压成型后的生胚靶管进行真空烧结；所述真空烧结的温度从室温开始，按照每小时上升 60℃进行升温，在520～560℃保温 2‑3 小时，然后自然降温；(4) 将步骤(3)真空烧结得到的靶管放入热等静压机进行压制；热等静压的压力为 150‑200Mpa ，温度为500‑550℃，保温时间1‑2小时；(5) 将步骤(4) 热等静压得到的靶管进行机械加工；(6) 将步骤(5) 机械加工得到的靶管进行铟绑定。