[发明专利]一种新型高纯石英坩埚及其制备方法在审
申请号: | 201610146253.9 | 申请日: | 2016-03-15 |
公开(公告)号: | CN105648528A | 公开(公告)日: | 2016-06-08 |
发明(设计)人: | 张福军;陈加伟 | 申请(专利权)人: | 常熟华融太阳能新型材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 高玲玲 |
地址: | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型高纯石英坩埚及其制备方法,新型高纯石英坩埚,包括坩埚本体、坩埚内表面的高纯石英陶瓷涂层。具体步骤是在石英坩埚生坯上,制作高纯石英陶瓷涂层,经过低温干燥、高温烧结得到新型高纯石英坩埚。这样的设计结构首先可以实现高纯石英陶瓷涂层与石英坩埚生坯的一体烧结,将硅溶胶的脱水缩合过程及有机粘结剂的分解过程中产生的H2O、CO和CO2等气体杂质在坩埚使用前排除,进而降低硅锭中的氧和碳含量。其次可以加强高纯石英陶瓷涂层与坩埚本体之间的结合能力,降低杂质率,同时不影响底部晶花,提高硅片的转换效率。本发明的坩埚生产的硅片,红区图谱和晶花有显著改善,其氧和碳含量降低50%~60%,杂质率降低75%,整体收率比产线高5%。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 高纯 石英 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种新型高纯石英坩埚,其特征在于包括:坩埚本体和坩埚内表面的高纯石英陶瓷涂层。
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