[发明专利]红外光源及其制作方法有效
申请号: | 201610147156.1 | 申请日: | 2016-03-15 |
公开(公告)号: | CN105668504B | 公开(公告)日: | 2017-12-19 |
发明(设计)人: | 郭安波;俞骁 | 申请(专利权)人: | 苏州诺联芯电子科技有限公司 |
主分类号: | B81B7/02 | 分类号: | B81B7/02;B81C1/00;G01N21/3504 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)32235 | 代理人: | 杨林洁 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种红外光源的制作方法,包括如下步骤S1提供衬底,并在所述衬底的上表面制作支撑膜;S2在所述支撑膜的上表面制作温度传感器,所述温度传感器具有用以与外电路通信连接的引线点;S3在所述温度传感器的上方制作绝缘层;S4在所述绝缘层的上表面制作加热源,所述加热源具有用以与外电路电性连接的接线点;S5在所述加热源的上方制作黑体薄膜作为辐射层;S6使所述引线点与所述接线点的部分结构向外暴露以与外电路连接。所述红外光源的制作方法将所述温度传感器设置于红外光源的辐射区域,能够实时反馈红外光源的辐射温度,可有效提高NDIR模块的探测精度和分辨率,在NDIR气体传感领域有应用前景。 | ||
搜索关键词: | 红外 光源 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种红外光源的制作方法,包括如下步骤:S1:提供衬底,并在所述衬底的上表面制作支撑膜;S2:在所述支撑膜的上表面制作温度传感器,所述温度传感器具有用以与外电路通信连接的引线点;S3:在所述温度传感器的上方制作绝缘层;S4:在所述绝缘层的上表面制作加热源,所述加热源具有用以与外电路电性连接的接线点,所述加热源呈蛇形均匀分布于所述绝缘层的上表面;S5:在所述加热源的上方制作黑体薄膜作为辐射层;S6:使所述引线点与所述接线点的部分结构向外暴露以与外电路连接。
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