[发明专利]涂布装置和涂布方法有效
| 申请号： | 201610148078.7 | 申请日： | 2016-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN105983511B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 谷野圣;谷尚树;岸谷征典;木田威 | 申请（专利权）人： | 东丽薄膜先端加工有限公司;东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 浦彩华;姚开丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种涂布装置和涂布方法，即使提高基材的搬运速度，并且使涂布膜的膜厚变薄，该涂布装置和该涂布方法也能够稳定地保持液珠，从而能够稳定地形成均匀的涂布膜。本发明的涂布装置具备狭缝模(10)和减压单元(20)，狭缝模(10)具有用来喷出涂布液的喷出用狭缝(13)，减压单元(20)设在狭缝模(10)的上游侧，减压单元(20)具备减压用狭缝(21)和减压室(22)，减压用狭缝(21)与喷出用狭缝(13)相邻而设，减压室(22)与减压用狭缝(21)相连结，喷出用狭缝(13)的开口面的上游侧缘部(13a)与减压用狭缝(21)的开口面(21a)的下游侧缘部(21b)之间的距离(L)小于1.0mm，减压用狭缝(21)的开口宽度(W)小于1.0mm。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种涂布装置，其具备狭缝模和减压单元，所述狭缝模具有用来喷出涂布液的喷出用狭缝，所述减压单元设在所述狭缝模的上游侧，所述涂布装置的特征在于:所述减压单元具备减压用狭缝和减压室，所述减压用狭缝与所述喷出用狭缝相邻而设，所述减压室与所述减压用狭缝相连结，所述喷出用狭缝的开口面的上游侧缘部与所述减压用狭缝的开口面的下游侧缘部之间的距离小于1.0mm，所述减压用狭缝的开口宽度小于1.0mm，所述减压室具备用来使该减压室减压的多个抽气孔，所述减压用狭缝的宽度方向上的每1m长度上所设的所述抽气孔的数量为四个以上。
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