[发明专利]抛光头调平装置及方法有效
| 申请号： | 201610152904.5 | 申请日： | 2016-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN105690241B | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 杨师;李伟;熊朋;王东辉;刘雪娇 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙) 11004 | 代理人： | 赵东方 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光头调平装置及方法，包括花键轴、花键套、轴承套筒、轴承端盖、轴承预紧环、轴承、调节平板、基板和至少三个调平螺钉组；调节平板置于基板上表面；轴承端盖与轴承预紧环配合，对轴承的外圈进行预紧；轴承设于花键套与轴承套筒之间；花键轴装于花键套内；各调平螺钉组连接在调节平板上。本发明通过花键轴传递到抛光头，抛光头面较大，适用于较大尺寸的晶圆抛光。防松法兰用于消除调平螺母与调节平板之间的螺纹间隙，提高调平精度，防止再旋转紧固螺栓的过程中被摩擦力改变预先调好的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 平装 方法 | ||
【主权项】：
1.抛光头调平装置，其特征在于，包括花键轴、花键套、轴承套筒、轴承端盖、轴承预紧环、轴承、调节平板、基板和至少三个调平螺钉组；所述调节平板置于所述基板上表面；所述轴承端盖与所述轴承预紧环配合，对所述轴承的外圈进行预紧；所述轴承设于所述花键套与所述轴承套筒之间；所述花键轴装于所述花键套内，所述花键轴的底端用于安装抛光头；各所述调平螺钉组连接在所述调节平板上。
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