[发明专利]玻璃晶圆镀膜的方法

摘要

本发明公开了一种玻璃晶圆镀膜的方法，主要包括以下几个步骤：1]玻璃晶圆清洗；2]玻璃晶圆干燥；3]玻璃晶圆镀膜：将干燥后的玻璃晶圆送入镀膜室，固定在旋涂机的镀膜盘上，镀膜室中通入挥发蒸汽，当整个镀膜室中挥发蒸汽达到饱和时，将旋涂机转速调至500rpm，向镀膜盘中央滴入镀膜液，然后逐渐将旋涂机转速提高至2000‑5000rpm，镀膜液在玻璃晶圆上均匀铺展开后完成初步镀膜；其中，镀膜液的溶剂与挥发蒸汽相同；4]低温固化；5]高温固化。本发明可有效解决镀膜液中有机挥发组分在镀膜未完成就已挥发而导致的镀膜不均的问题，同时该镀膜工艺简单易操作、成本低，可有效降低镀膜成本。

主权项

1.一种玻璃晶圆镀膜的方法，其特征在于：主要包括以下几个步骤：1]玻璃晶圆清洗2]玻璃晶圆干燥3]玻璃晶圆镀膜将干燥后的玻璃晶圆送入镀膜室，固定在旋涂机的镀膜盘上，镀膜室中通入挥发蒸汽，当整个镀膜室中挥发蒸汽达到饱和时，将旋涂机转速调至500rpm，向镀膜盘中央滴入镀膜液，然后逐渐将旋涂机转速提高至2000‑5000rpm，镀膜液在玻璃晶圆上均匀铺展开后完成初步镀膜；其中，镀膜液的溶剂与挥发蒸汽相同；步骤3]中的挥发蒸汽是异丙醇蒸汽、乙醇蒸汽或丙酮蒸汽；步骤3]中的镀膜液是纳米二氧化硅悬浮液；所述步骤3]中镀膜室中挥发蒸汽的压强是0.1‑0.5MPa；4]低温固化将完成初步镀膜的玻璃晶圆送入恒温箱进行固化，固化温度在200‑300℃，固化时间为5‑8分钟；5]高温固化将完成步骤4]处理的玻璃晶圆冷却至室温后进行高温固化，使得玻璃表面形成一层减反射增透薄膜；步骤5]中高温固化时，温度控制在650℃，固化时间为2‑3分钟。